主要特点 / Main Features:

1.可用于先进封装、晶圆制造、IC、功率、射频等领域;

2.机台可实现多尺寸兼容，多种Chuck Pin结构应对不同晶圆:3.多层cup结构可实现药液分离，配备循环管路，可重复使用药液:

4.设备占地小，产能高，集成度高。